1. Tumenggung Bahurekso (28 Juli 1605 - 28 Agustus 1628)
2. Raden Ngabehi Wiroseco (1628-1641)
3. Raden Ngabehi Mertoyudo (1641-1649)
4. Raden Ngabehi Wongsodiprojo (1649-1650)
5. Raden Ngabehi Wongsowiroprojo (1650-1661)
6. Raden Ngabehi Wongsowirosroyo (1661-1663)
7. Tumenggung Singowijoyo (1663-1668)
8. Tumenggung Mertowijoyo I (1668+1700)
9. Tumenggung Mertowijoyo II